- ●半導体・フラットパネルで培われた洗浄・乾燥技術を駆使し、高品質・低ダメージなどさまざまなニーズに対応します。
- ●被洗浄物とニーズに合わせた自由設計により、省スペース・省ユーティリティーを実現します。
- ●両面ブラシ、2流体ジェット、超音波を応用したピュアジェット、高圧ジェットなど組み合わせにより微細な異物除去を実現します。
- ●ウェーハ型、角型基板に対応したハンドリング・幅広いサイズに対応した設備をご提案します。
- ●ドライプロセス装置（UV処理等）の製作もします。
枚葉スピン処理装置
UV処理装置
手動式スピン処理装置
WET処理装置
薬液自動供給装置
